12月28日至30日，2022年北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京經濟技術開發區隆重舉行。IC WORLD大會是中國北方地區具有較大影響力的品牌集成電路大會，本屆大會以“蓄勢起航 煥然一芯”為主題，全面整合行業資源，提升行業參與力，為業界帶來諸多新看點。作為中國尖端科學儀器和真空技術的引領者，中科科儀受邀出席。

本屆大會由中華人民共和國工業和信息化部、中華人民共和國科技部、北京市人民政府指導，北京市經濟和信息化局、北京經濟技術開發區管委會主辦。大會召開了精彩紛呈的學術會議，特邀眾多政府領導、業內專家及知名投資機構領導蒞臨現場，通過思想碰撞、深度交流、展覽展示，探討集成電路產業鏈關鍵核心技術的新發展和新方向。中科科儀真空技術研發中心時劍文博士在集成電路零部件創新發展論壇發表主題為《磁懸浮分子泵技術及半導體行業應用》的線上演講，全面講解了磁懸浮分子泵技術和磁懸浮分子泵在半導體行業的應用，獲得與會專家和學者的一致認可和好評。

磁懸浮分子泵可獲得清潔無油的超高真空環境，是集成電路前道工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積裝備的關鍵核心零部件。中科科儀磁懸浮分子泵突破磁懸浮軸承及控制、無位置傳感器高速電機及控制、整體轉子精密加工、高性能渦輪動靜葉片設計、高強度鋁合金渦輪材料、精度位移傳感器、稀薄流態的真空性能仿真、復雜轉子系統動力學分析等關鍵技術，滿足集成電路制造工藝的嚴苛要求，性能指標對標國際一流產品，供應鏈實現完全自主可控。

當前，我國集成電路產業正處在前所未有的大變局中，一方面數字經濟、新基建正成為我國集成電路產業發展的重要驅動力，另一方面，復雜的外部產業環境變化也為我國集成電路產業帶來全鏈突破、加速發展的歷史性機遇。中科科儀作為集成電路產業核心零部件廠商，不斷搶抓機遇，自研制中國首臺磁懸浮分子泵以來，加速推進磁懸浮分子泵規模產業化，產品廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、離子注入、高端光學鍍膜、科學研究、異質結光伏等領域。其中，中科科儀系列半導體行業專用磁懸浮分子泵憑借卓越可靠的耐腐蝕能力、安全穩定的防沉積能力、配置靈活的分體式設計以及緊湊便利的高集成設計特點，獲得廣大用戶的厚愛。

未來，中科科儀將繼續加強集成電路制造工藝的適用性研究，不斷提升磁懸浮分子泵的性能指標，實現集成電路制造領域國產化替代，助力解決集成電路產業核心零部件“卡脖子”問題，為強化國家戰略科技力量、實現高水平科技自立自強做出新的貢獻！

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摘要：真空“硬科技”賦能集成電路產業發展。